云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 国防科技重点实验室基金(914C24KF0901)

国防科技重点实验室基金(914C24KF0901): 作品数：2被引量：1H指数：1; 导出分析报告; 相关作者：赵全亮王大伟崔岩袁杰路冉更多>>; 相关机构：北京理工大学北方工业大学中央民族大学黑龙江大学更多>>; 相关期刊：《无机材料学报》更多>>; 相关主题：压电性能PBTIO3O3准同型相界三元系更多>>; 相关领域：化学工程一般工业技术电气工程更多>>

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高性能PZT压电厚膜及MEMS微驱动器技术研究: 《黑龙江大学工程学报》2011年第3期76-84,共9页曹茂盛路冉赵全亮刘红梅邱成军袁杰; 国家自然科学基金面上项目(50742007;50872159);863项目(2007AA03Z103);声纳与水声技术国防科技重点实验室基金项目(914C24KF0901); 运用混合溶胶-凝胶法制备了具有钛酸铅(PT)种子层的PZT基压电复合厚膜,包括(100)取向PZT压电厚膜,PZT纳米颗粒增强PZT压电复合厚膜((0-3)PZT)和氧化锌晶须增强PZT复合厚膜(ZnOw-PZT)。通过结构表征,研究了工艺条件和膜厚对PZT基厚膜的...; 关键词：PZT 厚膜溶胶-凝胶法 MEMS