云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 国家高技术研究发展计划(2001AA513060)

国家高技术研究发展计划(2001AA513060): 作品数：5被引量：16H指数：2; 导出分析报告; 相关作者：沈辉梁宗存胡芸菲刘正义班群更多>>; 相关机构：中国科学院中山大学华南理工大学更多>>; 相关期刊：《太阳能学报》《华南理工大学学报（自然科学版）》更多>>; 相关主题：颗粒硅带衬底多晶硅薄膜太阳电池多晶硅薄膜化学气相沉积更多>>; 相关领域：动力工程及工程热物理更多>>

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用区熔技术改善多晶硅薄膜颗粒硅带衬底的质量被引量：1: 《华南理工大学学报（自然科学版）》2005年第7期28-31,共4页胡芸菲沈辉王磊邹禧武班群梁宗存刘正义闻立时; 国家自然科学基金资助项目(50376067);中科院'百人计划'项目(99-019-422288);国家'863'计划项目(2001AA513060); 以颗粒硅带为衬底,通过化学气相沉积法制备多晶硅薄膜作为太阳电池的活性层.为了改善硅带衬底的质量,引入区熔再结晶的方法,期望将其表面平整度及结晶质量进一步提高,进而改善以其为衬底的多晶硅薄膜质量.借助台阶仪、X射线衍射(XRD)、...; 关键词：区熔颗粒硅带多晶硅薄膜平整度择优取向