黑龙江省自然科学基金(QC2013C059)

作品数：5被引量：20H指数：3
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相关期刊：《传感技术学报》《仪器仪表学报》《传感器与微系统》更多>>
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半导体气体传感器动态温度调制系统设计及检测方法研究被引量：6
《传感技术学报》2016年第9期1365-1371,共7页于洋 赵文杰 王欣 王暄 施云波 
国家自然科学青年基金项目(61501149);黑龙江省自然科学青年基金项目(QC2013C059);黑龙江省教育厅科技项目(12541141)
针对半导体气体传感器存在选择性差的问题,通过温度调制检测方法实现可燃性气体良好检测性能,提高传感器在复杂环境下的选择性。设计了一种参数可调的气体传感器温度调制系统,实现了正弦波和矩形波输出模式,输出频率0~1 000 Hz,幅值0~5 ...
关键词：气体传感器 选择性 温度调制 矩形波 
一种正弦波磁通门传感器激磁系统的设计被引量：2
《传感技术学报》2015年第12期1887-1892,共6页王向鑫 姜文娟 于洋 赵文杰 施云波 
黑龙江省自然基金重点项目(ZD201217);黑龙江省自然科学青年基金项目(QC2013C059);黑龙江省教育厅科技项目(12541141)
针对方波激励磁通门易出现谐波干扰问题,提出一种采用正弦波激励磁通门的激磁系统。给出了总体设计方案,设计了信号发生器,信号调理电路和功率放大电路,并给出了激磁信号波形、频率和电流等关键参数的设计性能指标。搭建了系统测试平台...
关键词：磁通门 激磁系统 正弦激磁信号 激磁频率 
AlN陶瓷微热板MEMS传感器阵列设计与工艺实现被引量：4
《传感器与微系统》2015年第8期87-90,共4页赵文杰 杨守杰 于洋 王向鑫 施云波 
黑龙江省自然科学基金重点资助项目(ZD201217);黑龙江省自然科学青年基金资助项目(QC2013C059);黑龙江省教育厅科技计划资助项目(12541141)
针对陶瓷基微热板MEMS器件难以微加工,器件表面加热Pt膜使用普通正性光刻胶难以实现光刻剥离的工艺难点问题,提出了激光微加工和柔性机械剥离相结合的微加工方法。以Al N陶瓷为衬底基片,采用激光微加工技术实现热隔离刻蚀体加工,刻蚀梁...
关键词：微机电系统 陶瓷微热板 传感器阵列 光刻剥离 
纳米孔Al_2O_3修饰Si基氨气传感器设计被引量：3
《传感器与微系统》2015年第8期106-109,共4页冯侨华 马新甜 兰云萍 施云波 
黑龙江省自然科学基金重点资助项目(ZD201217);黑龙江省自然科学青年基金资助项目(QC2013C059);黑龙江省教育厅科技资助项目(12541141)
针对Si基微结构气体传感器中Si基与敏感材料之间附着性较差的问题,提出在Si基与敏感材料之间引入纳米孔Al2O3膜形成新型Si基微结构传感器,利用ANSYS分析软件对微结构进行热分析。采用薄膜工艺、光刻工艺、电化学阳极氧化工艺在Si衬底上...
关键词：气体传感器 新型Si基微结构 纳米孔Al2O3膜 聚苯胺 氨气 
AlN微热板气体传感器阵列热失稳特性研究被引量：6
《仪器仪表学报》2013年第12期2757-2762,共6页周真 赵文杰 施云波 王婷 于洋 
黑龙江省自然基金重点项目(ZD201217);黑龙江省自然科学青年基金(QC2013C059)资助项目
采用微机电系统(MEMS)技术设计和制作了一种基于氮化铝(AlN)基陶瓷微热板2单元气体传感器阵列。传感器单元由加热器电极和信号电极组成,中间加热区周围通过激光微加工刻蚀有4个热隔离通孔以减少热传导损失,并通过4个梁与边缘相连接。利...
关键词：传感器阵列 氮化铝 热传导 微机电系统 
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