云南省教育厅科学研究基金(5y0663D)

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La_(0.5)Sr_(0.5)CoO_3薄膜的制备及其湿敏性质的研究被引量：1
《昆明理工大学学报（理工版）》2006年第6期22-24,共3页王建禄 彭巨擘 蔡毅 普朝光 张鹏翔 
云南省教育厅科学研究基金(项目编号:5y0663D)
利用脉冲激光沉积(PLD)的方法,在SiO2/Si衬底成功制备了钙钛矿结构的La0.5Sr0.5CoO3薄膜.对制备的薄膜生长的薄膜进行了XRD测量分析,并且对薄膜的表面形貌进行了测量分析.着重对薄膜的电阻进行了测量,发现环境气氛对电阻的影响,进而对...
关键词：脉冲激光溅射沉积 镧锶钴氧薄膜 湿敏电阻 
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