国家自然科学基金(60471015)

作品数：5被引量：10H指数：2
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小功率平面螺旋电感耦合微波等离子体源的研究被引量：2
《电子学报》2009年第8期1860-1864,共5页廖斌 周蓓 曹焕丽 朱守正 
国家自然科学基金(No.60471015)
本文提出一种基于平面螺旋微带的2.45GHz小功率电感耦合微波等离子体源,根据等效变压器耦合模型分析等离子体源的谐振特性,通过微波等离子体吸收功率与等离子体阻抗之间的关系,研究不同气压条件下的放电规律.研究表明,在低气压条件下,...
关键词：平面螺旋微带 小功率电感耦合微波等离子体源 谐振特性 气体放电 S参数 
基于微带环缝谐振器的小功率微波等离子体源被引量：2
《上海交通大学学报》2009年第3期372-376,共5页廖斌 张少君 赵娜 朱守正 
国家自然科学基金资助项目(60471015)
介绍了一种基于微带环缝谐振器的2.45 GHz小功率微波等离子体源,根据微带环缝谐振器的奇模等效电路,通过S参数与微波等离子体阻抗之间的关系,研究小功率微波等离子体源的阻抗匹配及其在不同气体条件下的放电规律.研究表明,在低气压(空气...
关键词：微带环缝谐振器 小功率微波等离子体源 阻抗匹配 气体放电 S参数 
基于微带环缝谐振器的2.45GHz小功率微波等离子体源的建模与仿真被引量：4
《电子与信息学报》2007年第10期2512-2516,共5页廖斌 张少君 朱守正 
国家自然科学基金(60471015)资助课题
该文介绍了一种基于微带环缝谐振器的2.45GHz小功率微波等离子体源的建模方法。根据半波长终端开路谐振器的特性,通过选择合适的缝隙宽度和偏转角度、介质基片的介电常数等,使微带环缝谐振器的品质因数最大,同时与馈电端良好匹配。研究...
关键词：微波等离子体源 微带环缝谐振器 品质因数 
ICP源平面微带螺旋天线参数对性能的影响被引量：3
《应用科学学报》2007年第4期359-364,共6页周蓓 廖斌 朱守正 
国家自然科学基金资助项目(60471015)
分析了平面电感耦合微波等离子体源(ICP)的基本理论,根据其等效电路设计了一个谐振频率在2.45 GHz的平面微带螺旋天线,通过建模进行仿真优化,并提出减小损耗的方法.研究发现,螺旋线圈的尺寸是影响谐振频率和Q值的关键因素.这为小功率电...
关键词：电感耦合微波等离子体源(ICP) 平面微带螺旋天线 数值仿真 
平面螺旋电感耦合微波等离子体源的建模分析被引量：1
《电波科学学报》2007年第3期400-404,共5页廖斌 曹焕丽 朱守正 
国家自然科学基金资助项目(批准号:60471015)
介绍了一种小型化的2.45GHz小功率平面螺旋电感耦合微波等离子体源的建模方法。根据等效电路,推导出平面螺旋电感线圈的品质因数,并进行数值分析。研究表明:无载品质因数随结构、尺寸和频率等的变化而变化,并在谐振频率附近达到最大值...
关键词：平面螺旋电感耦合 微波等离子体源 品质因数 数值分析 
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