中央高校基本科研业务费专项资金(K50511250001)

作品数:1被引量:2H指数:1
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非对称HALO掺杂栅交叠轻掺杂漏围栅MOSFET的解析模型被引量:2
《物理学报》2012年第7期536-543,共8页李聪 庄奕琪 韩茹 张丽 包军林 
中央高校基本科研业务费专项资金(批准号:K50511250001);国家自然科学基金(批准号:61076101)资助的课题~~
为抑制短沟道效应和热载流子效应,提出了一种非对称HALO掺杂栅交叠轻掺杂漏围栅MOSFET新结构.通过在圆柱坐标系中精确求解三段连续的泊松方程,推导出新结构的沟道静电势、阈值电压以及亚阈值电流的解析模型.结果表明,新结构可有效抑制...
关键词:非对称HALO掺杂 栅交叠轻掺杂漏 围栅MOSFET 解析模型 
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