国家教育部博士点基金(20060335104)

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先驱体Fe膜结晶程度对FeS2薄膜组织和性能的影响
《浙江大学学报(工学版)》2008年第3期489-492,共4页陈旭波 刘艳辉 汪洋 孟亮 
浙江省自然科学基金资助项目(Y405016);教育部博士学科点研究基金资助项目(20060335104)
利用不同温度基底溅射沉积Fe膜并硫化合成FeS2薄膜的方法,研究了先驱体Fe膜结晶程度对FeS2薄膜组织结构和电学性能的影响.结果表明,较高的基底温度能够产生较大尺寸的Fe膜晶粒,400℃硫化反应可使不同结晶程度的Fe转变为晶粒细小的F...
关键词:FeS2膜 先驱体 组织结构 电学性能 
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