国家自然科学基金(90301006)

作品数：1被引量：1H指数：1
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热压印刻蚀技术被引量：1
《纳米科技》2005年第5期18-22,共5页章国明 邵会波 
国家973（项目编号2001CB6105）;国家自然科学基金（项目编号90301006）.
纳米压印技术是一种高分辨率、廉价、高效的纳米结构制备技术。它既继承了传统光刻技术所具有的并行性，又同时拥有传统光刻技术不易达到的纳米结构制备能力，这为今后纳米结构的广泛应用提供了良好的条件。文章介绍了纳米热压印技术中...
关键词：纳米压印技术 热压印技术 纳米结构制备 
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