广东省科技计划工业攻关项目(2004A10403008)

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相关作者：吴黎明邓耀华王桂棠张力锴薛向东更多>>
相关机构：广东工业大学华南理工大学通用电子有限公司广州大学更多>>
相关期刊：《金属热处理》《半导体技术》《仪器仪表学报》《机械设计与制造》更多>>
相关主题：IC晶片机器视觉标准件亚像素空间矩更多>>
相关领域：电子电信金属学及工艺自动化与计算机技术机械工程更多>>
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一种提高显微数控平台控制精度的细分驱动算法
《机械设计与制造》2010年第5期188-190,共3页邓耀华 吴黎明 张力锴 陈景郁 苏振锐 
广东省科技计划攻关项目(2004A10403008);广州市科技攻关项目(2007Z2-D3161)
高精密显微数控工作台是IC晶片自动光学检测的核心部件之一,其运动精度直接影响光学检测设备的分辨力,工作台的运动速度和加速度会影响整个IC晶片检测的工作效率。首先给出了高精度工作台的机械设计和工作台嵌入式控制结构,然后针对工...
关键词：IC晶片检测 高精度工作台 自适应细分 逼近算法 嵌入式 
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