广东省科技计划工业攻关项目(2004A10403008)

作品数：8被引量：112H指数：4
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相关作者：吴黎明邓耀华王桂棠张力锴薛向东更多>>
相关机构：广东工业大学华南理工大学通用电子有限公司广州大学更多>>
相关期刊：《金属热处理》《半导体技术》《仪器仪表学报》《机械设计与制造》更多>>
相关主题：IC晶片机器视觉标准件亚像素空间矩更多>>
相关领域：电子电信金属学及工艺自动化与计算机技术机械工程更多>>
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一种提高显微数控平台控制精度的细分驱动算法
《机械设计与制造》2010年第5期188-190,共3页邓耀华 吴黎明 张力锴 陈景郁 苏振锐 
广东省科技计划攻关项目(2004A10403008);广州市科技攻关项目(2007Z2-D3161)
高精密显微数控工作台是IC晶片自动光学检测的核心部件之一,其运动精度直接影响光学检测设备的分辨力,工作台的运动速度和加速度会影响整个IC晶片检测的工作效率。首先给出了高精度工作台的机械设计和工作台嵌入式控制结构,然后针对工...
关键词：IC晶片检测 高精度工作台 自适应细分 逼近算法 嵌入式 
基于FPGA的双DDS任意波发生器设计与杂散噪声抑制方法被引量：79
《仪器仪表学报》2009年第11期2255-2261,共7页邓耀华 吴黎明 张力锴 李业华 
广东省科技计划攻关项目(2004A10403008);广州市科技攻关重点项目(2007Z2-D3161)资助
研究基于DDS(直接数字频率合成)的任意波信号产生的机理,在FPGA内嵌SOPC,配置了32位的软微处理器NiosII,利用FPGA实现双DDS的相位累加器,通过数字方法直接实现任意波形的各种频率调制。分析了高速相位累加器截断误差,幅度量化误差和D/A...
关键词：任意波发生器 SOPC 双DDS 相位截断 高阶滤波器 幅频校正 
基于像素分布特性的IC晶片视觉检测方法
《半导体技术》2007年第10期899-903,共5页伍冯洁 吴黎明 
广东省科技计划攻关项目(2004A10403008)
IC晶片制造过程存在多种致命缺陷,致使芯片失效,导致成品率下降。冗余物缺陷是影响IC晶片成品率下降的重要原因,主要造成电路短路错误。针对冗余物缺陷对版图的影响,提出了一种简单可行的缺陷视觉检测方法,以实现冗余物缺陷的识别及电...
关键词：IC晶片 冗余物 机器视觉 投影定理 
骨架提取在IC晶片缺陷机器视觉识别中的研究被引量：6
《半导体技术》2007年第4期324-327,357,共5页李政广 吴黎明 赖南辉 王立萍 程伟涛 
广东省科技计划攻关项目(2004A10403008)
光刻工艺导致的IC晶片制造中缺陷种类多样,丢失物和冗余物缺陷是影响成品率下降的重要原因,其主要造成电路开路和短路。提出一种基于骨架特征的IC晶片丢失物和冗余物缺陷短路故障机器视觉识别方法,应用细化算法抽取图像骨架,提供了使用...
关键词：骨架提取 IC晶片 丢失物 冗余物 机器视觉 
基于机器视觉的晶粒度面积法自动评级被引量：1
《金属热处理》2007年第3期82-85,共4页林金萱 王桂棠 肖乐萍 
广东省科技计划重点项目(2004A10403008)
根据国标中晶粒度的定义提出进行晶粒度测量自动评级方法,论述了该方法中应用计算机图像处理技术进行图像尺寸标定、二值化变换、消除噪声、提取晶界和计算晶粒个数,最终计算晶粒度评级参数等过程的算法及实现。提取单像素晶界可解决不...
关键词：晶粒度 面积法 自动评级 机器视觉 
有图形硅片显微图像微距线宽测量方法研究被引量：7
《仪器仪表学报》2006年第9期1138-1140,共3页王桂棠 薛向东 吴黎明 
广东省科技计划(2004A10403008)资助项目
针对硅片关键尺寸高精度准确测量的要求,在整像素级标准件法二维图像微距尺寸测量的基础上,本文综合应用基于卡尺的标准件法和空间矩亚像素细分算法,提出了具有像素级高速度、亚像素级高精度线宽测量的两步标定法。通过给出一个焊盘样...
关键词：硅片 标准件 像素当量 空间矩 亚像素 标定 
基于数字图像处理技术的金相组织定量分析被引量：15
《金属热处理》2006年第2期66-70,共5页王桂棠 邓耀华 吴黎明 
广东省科技计划重点项目(2004A10403008)
论述了基于直方图均衡化方法和基于区域生长及数学形态学方法的金相组织数字图像处理技术,并通过对金相组织中初生相含量的分析结果,对两种方法进行了对比。直方图均衡化分割技术简易、运算速度快,但没有对杂质的区分能力,对各组织区域...
关键词：金相分析 数字图像处理 直方图均衡化 数学形态学 
IC晶片关键尺寸标定的新方法研究被引量：4
《半导体技术》2005年第12期35-37,43,共4页薛向东 吴黎明 邓耀华 伍冯洁 何仲凯 
广东省科技计划攻关项目(2004A10403008)
提出了一种基于标准件法的二次标定法,实现了对微距尺寸的高速高精度测量。该方法经过实验测量数据的分析对比,表明比标准件法测量精度有明显提高,满足了IC晶片线宽测量的精度要求。
关键词：标准件 像素当量 空间矩 亚像素 尺寸标定 
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