国家自然科学基金(60271066)

作品数：1被引量：3H指数：1
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《真空科学与技术学报》
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作品数：4335被引量：9136H指数：22
曾用名：真空科学与技术
issn：1672-7126cn：11-5177/TB
主办单位：中国真空学会
发文主题：磁控溅射 真空 性能研究 数值模拟 等离子体
发文领域：一般工业技术 理学 电子电信 金属学及工艺 机械工程
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