《Journal of Microelectronic Manufacturing》

作品数:66被引量:17H指数:2
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《Journal of Microelectronic Manufacturing》
主办单位:中国科学院微电子研究所
最新期次:2021年4期更多>>
发文主题:LITHOGRAPHYINDUSTRYMETROLOGYIN_CHINAMASK更多>>
发文领域:电子电信自动化与计算机技术经济管理理学更多>>
发文基金:国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划广东省自然科学基金更多>>
期刊信息
  • 主管单位:中国科学院
  • 主办单位:中国科学院微电子研究所
  • 主  编:叶甜春
  • 地  址:北京市朝阳区北土城西路3号
  • 邮政编码:100029
  • 电  话:010-82995779
  • 电子邮件:jomm@jommpublish.org
  • 国际标准刊号:2578-3769
  • 单  价:0.00
  • 定  价:0.00

期刊简介

主要发表集成电路制造领域中从基础研究阶段到工业大规模量产阶段的研究成果,涵盖仿真建模、工艺、设计、量测、封装、材料、设备等全学术研究领域,期刊已被DOAJ、CrossRef、CAS、中国知网、维普等国内外主流数据库收录。

国内外数据库收录

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收录汇总季刊 16开 出版日期为每季度第3月,日期08

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2020年01020304
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