AGC旭硝子集团

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替代ODS清洗用氟系溶剂的介绍被引量:2
《洗净技术》2004年第9期60-66,共7页津崎真彰 李健 
文章介绍了替代CFC-113和1,1,1-三氯乙烷使用的新型氟系溶剂含氢氟氯烃、全氟烃和全氟醚的主要性能特点。
关键词:氟系溶剂 含氢氟氯烃、全氟烃、全氟醚 清洗 
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