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反应性准分子激光混合气稳定性研究
《低温与特气》2021年第5期19-21,45,共4页胡新明 杨志轩 蓝倪 方程 
由于一种或多种杂质(或组分)容易与其他杂质或组分以及容器内壁表面、阀门和充装系统润湿表面发生反应,反应性气体混合物的保质期通常相对较短。对关键活性组分和特定活性杂质的定期测试,包括预期会增加或作为反应产物出现的杂质。测试...
关键词：反应气体 实时稳定性测试 标准偏差 检出下限 
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