沈阳新宝能科技有限公司

作品数：1被引量：1H指数：1
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提高涂胶显影机产能的方法被引量：1
《今日制造与升级》2023年第5期38-40,共3页高晓旭 张岳 王丽鹤 
随着各种消费类电子产品的快速升级迭代,各大终端芯片制造厂(FAB)都在极致地追求产品产能最大化,会优先考虑在有限空间下布局更多的工艺设备,而光刻机作为芯片制造工序最为重要、价格最贵且技术含量最高的核心设备,一直保持着迭代更新...
关键词：涂胶显影机产能 半导体设备 单元配方优化 机器人提速 风流控制 
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