TRICHLOROSILANE

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Experimental Study on Hydrogenation of SiCl_4 to SiHCl_3 in a Stirred Bed Reactor
《过程工程学报》2016年第5期767-773,共7页李庆远 李佩龙 王铁峰 
The hydrogenation of SiCl_4 to SiHCl_3 was studied in a stirred bed reactor with CuCl catalyst.The properties of the CuCl catalysts and silicon particles before and after the reaction were characterized by SEM,XRD and...
关键词：silicon tetrachloride TRICHLOROSILANE HYDROGENATION stirred bed reactor 
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