METAL-OXIDE-SEMICONDUCTOR

作品数:60被引量:53H指数:3
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Si/SiGe PMOSFET USING P^+ IMPLANTATION TECHNOLOGY
《Journal of Electronics(China)》2007年第1期100-103,共4页Tan Jing Li Jingchun Xu Wanjing Zhang Jing Tan Kaizhou YangMohua 
Supported by the Funds of National Key Laboratory of Analog IC (2000JS09.3.1.DZ02).
Si/SiGe P-channel Metal-Oxide-Semiconductor Field Effect Transistor (PMOSFET) using P+ (phosphor ion) implantation technology is successfully fabricated. P+ implantation into SiGe virtual substrate induces a narrow de...
关键词:SiGe P-channel Metal-Oxide-Semiconductor Field Effect Transistor (PMOSFET) P^+implantation relaxation 
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