PIEZORESISTOR

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相关机构：哈尔滨工业大学中国科学院更多>>
相关期刊：《Journal of Wuhan University of Technology(Materials Science)》《Nano-Micro Letters》《Microsystems & Nanoengineering》《Journal of Semiconductors》更多>>
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Development of Integrated Micro Nano-positioning xy-stage based on Bulk Micro-machining
《Journal of Wuhan University of Technology(Materials Science)》2009年第S1期195-199,共5页王家畴 
Funded by the High Technology Research and Development Programme of China (2007AA04Z315)
For operation and manipulation with nanometric positioning precision,an integrated micro nano-positioning xy-stage is developed,which is mainly composed of a silicon-based xy-stage,comb-driven actuator and displacemen...
关键词：MEMS silicon integrated xy-stage comb-driven actuator vertical sidewall surface piezoresistor 
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