DEFLECTOR

作品数：43被引量：82H指数：5
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ANALYSIS AND COMPUTATION OF THE MAGNETIC FIELD PRODUCED BY NON-RADIAL DEFLECTORS
《Journal of Electronics(China)》1990年第4期326-335,共10页沈庆垓 林文彬 谢志行 
Analytical expressions are given for computing the magnetic potential and charac-teristic functions produced by the non-radial deflectors.These expressions are useful for designingthe defiectors such as those used in ...
关键词：ELECTRON OPTICS DEFLECTOR Non-radial DEFLECTOR 
DESIGN AND PERFORMANCE OF SHAPING DEFLECTORS FOR VARIABLY SHAPED ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY
《Journal of Electronics(China)》1990年第4期336-346,共11页康念坎 江钧基 吴伟 黄兰友 吴明均 
In order to obtain uniform exposure in variably shaped electron beam lithography,the beam current density and edge resolution on the target must not change for different spotshapes and sizes.The key to the goal is the...
关键词：ELECTRON beam LITHOGRAPHY ELECTRON Optics SHAPING DEFLECTOR 
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