NANOIMPRINTING

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Preparation of Double-sided Nanostructure Based on Soft-nanoimprinting Lithography
《Journal of Microelectronic Manufacturing》2018年第2期1-5,共5页Man Zhang Qiling Deng Hui Pang Lifang Shi Axiu Cao 
the National Nature Science Foundation(No.61605211)of China;Science and Technology Support Program of Sichuan province(No.2016RZ0067).
Double-sided nanostructure has more excellent properties in high efficiency,high yield,and high capability devices,which becomes the attention spots in nanofabrication technology.We proposed a very simple method to fa...
关键词：Double-sided NANOSTRUCTURE ELASTIC SUBSTRATE soft-nanoimprinting LITHOGRAPHY metal layer 
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