MICROPUMP

作品数：27被引量：22H指数：3
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相关机构：哈尔滨工业大学黑龙江大学北京理工大学更多>>
相关期刊：《Microsystems & Nanoengineering》《Journal of Mechanics Engineering and Automation》《Science China(Technological Sciences)》《Optoelectronics Letters》更多>>
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A Novel Integrated PZT-Driven Micropump and Microvalve
《稀有金属材料与工程》2006年第A03期540-542,共3页Zhaoxin Geng Dafu Cui Haining Wang Changchun Liu Bo Su 
the financial support from the National Science Foundation of China(Grant No.20299030,60427001 and 60501020).
According to the'elastic buffer mechanism'and the'variable gap mechanism',a new device,which is both micropump and active microvalve actuated by PZT bimorph cantilever,was fabricated with polydimethyisiloxane (PDMS) a...
关键词：MICROPUMP MICROVALVE PZT PDMS 
A Hybrid Silicon-PDMS Micropump Actuated by PZT Bimorph
《稀有金属材料与工程》2006年第A03期319-320,共2页Haining Wang Dafu Cui Zhaoxin Geng Xing Chen 
The authors greatly acknowledge the financial support from the National Science Foundation of China （Grant number 20299030, 60427001 and 60501020）.
The fabrication and characterization of a hybrid Silicon-PDMS micropump based on MEMS technology is presented. The micropump consists of one chamber,two passive valves and one PDMS diaphragm.A PZT bimorph working as t...
关键词：MICROPUMP PZT bimorph PDMS 
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