ΜTAS

作品数:8被引量:6H指数:1
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相关领域:理学电子电信更多>>
相关作者:兰宇卫徐溢张晓凤陈才和吕昊更多>>
相关机构:重庆大学天津大学浙江大学哈尔滨工业大学更多>>
相关期刊:《中国机械工程》《分析试验室》《微细加工技术》《天津工业大学学报》更多>>
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基于MEMS的条栅状微过滤器的设计与制作
《微细加工技术》2006年第1期48-51,共4页何林 吴一辉 张平 宣明 
国家863MEMS重大专项资助项目(2004AA404250);中科院二期创新基金资助项目(C02X01Z)
为了满足微型全分析系统对样品分离的集成度要求,提出了一种新型的微分离技术。利用MEMS技术设计制作了一种条栅状的硅微结构的过滤器,线宽14μm,周期40μm。介绍了其制作工艺,并用碳化硒微粒做了过滤实验以验证其过滤效率。结果表明,...
关键词:微型全分析系统(μTAS) 血细胞分离 微过滤器 MEMS 微分离技术 
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