云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- HEXAMETHYLDISILOXANE

HEXAMETHYLDISILOXANE: 作品数：6被引量：13H指数：2; 导出分析报告; 相关领域：理学化学工程更多>>; 相关期刊：《High Voltage》《Journal of Thermal Science》《Plasma Science and Technology》更多>>; 相关基金：国家自然科学基金中国博士后科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>

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Formation of SiC Nanostruture Using Hexamethyldisiloxane During Plasma-Assisted Hot-Filament Chemical Vapor Deposition: 《Plasma Science and Technology》2010年第5期547-550,共4页陈牧笛朱晓东柯博丁芳温晓辉周海洋; supported by National Natural Science Foundation of China (No.10635010);the Key National Basic Research Program of China (No.2008CB717800); Growth of SiC nanowires in plasma-assisted hot filament chemical-vapor-deposition by using hexamethyldisiloxane （HMDSO） as the gas source is reported. The SiC nanowires （SIC NWs） grew on Au-coated silicon substrat...; 关键词：SIC NANOWIRES plasma