ETCH

作品数：54被引量：55H指数：4
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TFT-LCD制造工艺中金属或金属复合膜层坡度角的研究被引量：2
《液晶与显示》2018年第3期208-212,共5页范学丽 靖瑞宽 王晏酩 靳腾 董建杰 许永昌 徐斌 章志兴 高矿 
在薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)面板制程中,Gate层(栅极)电路和SD层(源极)电路根据产品电阻等要求可以使用纯金属膜层,如钼、铜等金属膜层,也可以使用金属复合膜层,如铝钼、铝钕钼、钼铝钼等金属复合膜层。当使用不同金属或金属复合...
关键词：坡度角 ETCH RATE 膜层 刻蚀 
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