NANODEVICE

作品数：25被引量：23H指数：3
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Semi-custom methodology to fabricate transmission electron microscopy chip for in situ characterization of nanodevices and nanomaterials
《Science China(Technological Sciences)》2022年第4期817-825,共9页YU BoCheng SUN Mei PAN RuHao TIAN JiaMin ZHENG FengYi HUANG Dong LYU FengJiao ZHANG ZhiTong LI JunJie CHEN Qing LI ZhiHong 
supported by the National Key Research and Development Program of China (Grant No. 2016YFA0200802);the National Natural Science Fundation of China (Grant No. 11890672)
The fabrication of nanodevices on the delicate membrane window of the TEM(transmission electron microscopy)chip has the risk of breakage failure,limiting in-depth research in this area.This work proposed a methodology...
关键词：in situ TEM TEM chip NANODEVICE membrane window NANOMATERIAL 
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