CRALN

作品数：63被引量：191H指数：9
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电弧离子镀Cr1-xAlxN硬质薄膜的成分、结构与性能被引量：6
《无机材料学报》2020年第6期675-681,共7页莫亚杰 王明磊 程玮杰 林国强 
国家自然科学基金(51271047);国家重点研发计划课题(2016YFB0101318)。
采用电弧离子镀的分离靶弧流调控技术在硬质合金基体上制备了4组不同Al含量的Cr1-xAlxN硬质薄膜,采用SEM、XPS、GIXRD、Nanoindenter及划痕仪分别表征了薄膜的形貌、成分、相结构和力学性能。结果表明:4组薄膜厚度分别为1.28、1.42、1.6...
关键词：电弧离子镀 CRALN 硬质薄膜 成分 相结构 力学性能 
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