MICRO-ACCELEROMETER

作品数：9被引量：10H指数：2
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Micro-accelerometer Based on Vertically Movable Gate Field Effect Transistor被引量：2
《Nano-Micro Letters》2015年第3期282-290,共9页Heung Seok Kang Kang-Hee Lee Dong-Youk Yang Byoung Hee You In-Hyouk Song 
supported by the National Research Foundation of Korea(NRF)funded by the Korea government(MSIP)(No.2012M2A8A5025825)
A vertically movable gate field effect transistor(VMGFET) is proposed and demonstrated for a microaccelerometer application. The VMGFET using air gap as an insulator layer allows the gate to move on the substrate vert...
关键词：MEMS MICRO-ACCELEROMETER Suspended gate FET Vertically movable gate FET VMGFET 
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