云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- POST-OXIDATION

POST-OXIDATION: 作品数：5被引量：5H指数：1; 导出分析报告; 相关领域：电子电信更多>>; 相关机构：中国科学院微电子研究所更多>>; 相关期刊：《Journal of Semiconductors》《Chinese Physics B》《Chinese Optics Letters》《Nano Research》更多>>; 相关基金：国家自然科学基金更多>>

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Angle-resolved x-ray photoelectron spectroscopy study of GeO_x growth by plasma post-oxidation: 《Chinese Physics B》2017年第10期453-458,共6页赵治乾张静王晓磊魏淑华赵超王文武; supported by the National Natural Science Foundation of China(Grant Nos.61574168 and 61504163); The growth process of GeOx films formed by plasma post-oxidation （PPO） at room temperature （RT） is investigated using angle-resolved x-ray photoelectron spectroscopy （AR-XPS）. The experimental results show that ...; 关键词：Ge plasma post-oxidation MOS XPS