AMHS

作品数：29被引量：22H指数：3
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相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>
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AMHS在集成电路产业的发展趋势分析被引量：2
《电子工业专用设备》2018年第3期4-6,共3页
阐述了AMHS技术在集成电路制造产业的发展历程,并结合AMHS系统的优势和国内外技术现状,通过分析国内集成电路产业的发展趋势,认为开发适用于国内集成电路生产厂家的AMHS系统是未来AMHS系统的一个发展趋势。
关键词：自动物料搬运系统 空中走行式无人搬送车 空中走行式穿梭车 
应用SMIF技术促进高量产Fab的更新升级
《电子工业专用设备》2004年第3期69-73,共5页John Ort Roy Hanter Chris Hnmphreys 
鉴于芯片特征尺寸不断缩小,制造技术不断推进许多工厂面临挑战。为了降低成本减少风险,对现有的操作冲击最小,德州仪器公司(TI)选用标准机械接口(SMIF)技术作为fab的设施升级手段。本文讨论了选用SMIF技术的原因,公司预期项目的结果,以...
关键词：标准机械接口(SMIF) SMIF小室 自动物料处理系统(AMHS) SMIF围护 SHIF标识符 
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