原子层外延

作品数：21被引量：16H指数：2
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电化学原子层外延及其新材料制备应用研究进展被引量：4
《材料导报》2005年第9期87-90,共4页侯杰 杨君友 朱文 郜鲜辉 
国家基础研究重大项目前期专项(2004CCA03200);国家自然科学基金(50401008)
电化学原子层外延(ECALE)是电化学沉积和原子层外延技术的结合,通过运用欠电势技术交替电化学沉积化合物的组成元素一次一个原子层而实现外延生长。详细介绍了电化学原子层外延(ECALE)的基本原理和特点,分析了影响 ECALE 过程的关键要素...
关键词：纳米超晶格 ECALE 欠电位沉积 原子层外延 
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