真空弧放电

作品数：18被引量：22H指数：2
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相关机构：中国工程物理研究院北京师范大学中国工程物理研究院电子工程研究所北京机械工业自动化研究所更多>>
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磁过滤真空弧沉积中过滤管道的第二阳极作用研究
《核技术》2001年第10期842-847,共6页王广甫 张荟星 
国家"8 6 3"计划 (86 3 - 715 - 0 0 8- 0 0 40 )
利用一台磁过滤真空弧沉积装置 ,初步研究了磁过滤管道对系统弧放电的影响。实验证明 ,磁过滤管道在阴极真空弧沉积中不仅起到消除大颗粒的作用 ,还作为阴极真空弧放电的第二阳极对弧放电产生影响。给出了磁过滤阴极真空弧放电的等效电...
关键词：磁过滤管道 阴极真空弧 第二阳极作用 等效电路 真空弧放电 等离子体 磁过滤真空弧沉积装置 
多阴极金属蒸气真空弧离子源被引量：2
《核技术》1991年第8期479-484,共6页朱祥正 张荟星 张孝古 
设计了一台多阴极的金属蒸气真空弧离子源,它有18个阴极,任一阴极都能在真空状态下被迅速接入电路工作。这是一种新型的强流金属离子源,特别适用于离子注入、材料改性。在脉冲工作方式下,引出了Al、Ti、Cr、Ni、Cu和Nb等元素的离子,平...
关键词：离子源 真空弧放电 等离子体 
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