等离子体氮化

作品数:44被引量:48H指数:4
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相关领域:金属学及工艺电子电信更多>>
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相关机构:东京毅力科创株式会社上海华力微电子有限公司东北大学中芯国际集成电路制造(上海)有限公司更多>>
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不锈钢316L氮化/(Cr,Ti)N涂层原位复合制备被引量:1
《表面技术》2019年第3期91-97,共7页杨永杰 吴法宇 滕越 赵志伟 延睿桐 周艳文 解志文 郭媛媛 
国家自然科学基金(51502126;51672109;51771087);辽宁省自然科学基金(20180550802);辽宁科技大学省级重点实验室中心开放课题(USTLKFSY201705);辽宁科技大学青年基金(2018QN12);辽宁科技大学大学生创新创业项目(201710146000190;201810146148)~~
目的研究不同复合涂层的结构及其对力学性能的影响。方法采用等离子体增强磁控溅射系统在奥氏体不锈钢表面分别进行等离子体氮化、(Cr,Ti)N涂层、氮化+(Cr,Ti)N涂层、氮化+Cr+(Cr,Ti)N涂层四种复合表面强化处理。采用XRD、SEM、纳米压...
关键词:等离子体氮化 (Cr Ti)涂层 原位制备 奥氏体不锈钢 显微结构 力学性能 
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