等离子体氮化

作品数:44被引量:48H指数:4
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相关领域:金属学及工艺电子电信更多>>
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相关机构:东京毅力科创株式会社上海华力微电子有限公司东北大学中芯国际集成电路制造(上海)有限公司更多>>
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《等离子体应用技术快报》
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作品数:864被引量:24H指数:2
主办单位:核工业西南物理研究院
发文主题:等离子体 等离子体源 离子植入 表面改性 离子束
发文领域:理学 电子电信 金属学及工艺 一般工业技术 核科学技术
《发光学报》
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作品数:6692被引量:13950H指数:32
issn:1000-7032cn:22-1116/O4
主办单位:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;中国物理学会发光分会
发文主题:光致发光 EU 英文 发光 发光特性
发文领域:理学 电子电信 机械工程 一般工业技术 化学工程
《真空科学与技术学报》
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作品数:4335被引量:9108H指数:22
曾用名:真空科学与技术
issn:1672-7126cn:11-5177/TB
主办单位:中国真空学会
发文主题:磁控溅射 真空 性能研究 数值模拟 等离子体
发文领域:一般工业技术 理学 电子电信 金属学及工艺 机械工程
《稀有金属材料与工程》
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作品数:17559被引量:52133H指数:44
issn:1002-185Xcn:61-1154/TG
主办单位:中国有色金属学会;中国材料研究学会;西北有色金属研究院
发文主题:英文 力学性能 显微组织 钛合金 合金
发文领域:金属学及工艺 一般工业技术 化学工程 理学 电气工程
《真空》
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作品数:4802被引量:6194H指数:23
issn:1002-0322cn:21-1174/TB
主办单位:中国机械工业集团有限公司沈阳真空技术研究所有限公司
发文主题:真空 真空技术 磁控溅射 真空系统 真空泵
发文领域:一般工业技术 理学 电子电信 金属学及工艺 冶金工程
《佳木斯大学学报(自然科学版)》
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作品数:6495被引量:8389H指数:18
曾用名:佳木斯工学院学报
issn:1008-1402cn:23-1434/T
主办单位:佳木斯大学
发文主题:MATLAB 有限元 数值模拟 仿真 有限元分析
发文领域:自动化与计算机技术 理学 建筑科学 机械工程 交通运输工程
《装备环境工程》
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作品数:4331被引量:11443H指数:30
issn:1672-9242cn:50-1170/X
主办单位:中国兵器装备集团西南技术工程研究所
发文主题:装备环境工程 环境适应性 环境试验 大气腐蚀 铝合金
发文领域:兵器科学与技术 金属学及工艺 航空宇航科学技术 一般工业技术 理学
《微电子学与计算机》
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作品数:12203被引量:28786H指数:32
issn:1000-7180cn:61-1123/TN
主办单位:西安微电子技术研究所
发文主题:FPGA 计算机 微电子学 无线传感器网络 遗传算法
发文领域:自动化与计算机技术 电子电信 文化科学 电气工程 经济管理
《表面技术》
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作品数:8984被引量:29903H指数:36
issn:1001-3660cn:50-1083/TG
主办单位:中国兵器装备集团西南技术工程研究所
发文主题:涂层 耐蚀性 电镀 激光熔覆 化学镀
发文领域:金属学及工艺 化学工程 一般工业技术 机械工程 理学
《军事通信技术》
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作品数:2109被引量:1765H指数:11
cn:32-1289/TN
主办单位:中国人民解放军理工大学通信工程学院;中国人民解放军理工大学指挥信息系统学院
发文主题:军事通信 军事通信技术 卫星通信 移动通信 征稿简则
发文领域:电子电信 自动化与计算机技术 军事 文化科学 电气工程
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