等离子体氮化

作品数：44被引量：48H指数：4
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相关领域：金属学及工艺电子电信更多>>
相关作者：王庆巴德纯徐林宾韧刘二强更多>>
相关机构：东京毅力科创株式会社上海华力微电子有限公司东北大学中芯国际集成电路制造(上海)有限公司更多>>
相关期刊：《等离子体应用技术快报》《材料保护》《机械工程材料》《真空科学与技术学报》更多>>
相关基金：国家自然科学基金沈阳市科技计划项目中国航空科学基金国际科技合作与交流专项项目更多>>
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微波等离子体氮化功率对Ti-N氮化层微观结构和性能的影响
《装备环境工程》2025年第1期11-20,共10页张俊辉 徐志刚 高鹏 刘文鑫 李家成 彭健 王传彬 
广东省基础与应用基础研究重大项目(2021B0301030001)。
目的对纯钛进行微波等离子体氮化处理,研究氮化工艺参数中的微波等离子体氮化功率对氮化层微观结构和性能的影响,以提高纯钛表面的硬度并改善其耐磨性。方法采用微波等离子体化学气相沉积技术,在微波功率为4250、4500、4750、5000 W的...
关键词：金属钛 Ti-N氮化层 微波等离子体氮化 微观结构 力学性能 摩擦学性能 
提高汽车轴承寿命的表面改性技术研究
《汽车维修技师》2024年第24期105-107,共3页杨燕 徐律 
无锡商业职业技术学院2021年度科研平台项目(KYPT21306);江苏省高等学校基础科学(自然科学)研究面上项目(22KJD460008);无锡商业职业技术学院“雏鹰计划”培养对象(RS22CY005)。
轴承是汽车关键零部件之一,其使用寿命直接影响汽车的可靠性和安全性,传统轴承材料和制造工艺已难以满足汽车轻量化、长寿命、高可靠性的发展需求。表面改性技术通过在轴承表面形成一层具有优异性能的涂层或改性层,可显著提升轴承的耐...
关键词：汽车轴承 表面改性 等离子体氮化 气相沉积 
喷丸预处理对Ti6Al4V合金低温等离子体氮化的影响被引量：1
《稀有金属材料与工程》2021年第10期3462-3469,共8页刘珍 于首明 刘道新 史海兰 何光宇 
National Natural Science Foundation of China(51771155);National Science and Technology Major Project(2017-VII-0012-0107)。
为改善钛合金表面耐磨性能,同时达到防止薄壁零部件变形和节约能源的目的,以Ti6Al4V钛合金为对象,研究了喷丸强化预处理对钛合金低温渗氮层及耐磨性的改善作用。结果表明,喷丸强化预处理能够有效促进钛合金表面低温离子渗氮过程,在500...
关键词：TI6AL4V钛合金 喷丸强化 低温氮化 摩擦磨损 
表面预处理对钛合金表面低温等离子体氮化的影响被引量：1
《真空科学与技术学报》2021年第2期132-138,共7页李金龙 滕越 张开策 郭媛媛 吕哲 王亚男 周艳文 李春福 
国家自然科学基金项目(51972155,51702145);辽宁省科技厅项目(SKLMEA-USTL-201709);辽宁科技大学产业技术研究院重大应用项目(601012431-10)。
为提高TC4钛合金表面摩擦学性能,探究酸洗及等离子体预处理对TC4钛合金表面低温等离子体氮化进程的影响。首先采用热丝增强等离子体氮化系统分别对表面酸洗及未酸洗TC4钛合金在氩气气氛下进行等离子体预处理,然后对各种表面预处理的TC4...
关键词：钛合金 低温等离子体氮化 酸洗复合等离子体预处理 摩擦学 显微硬度 
P20钢等离子体氮化/DLC双重处理研究被引量：3
《佳木斯大学学报（自然科学版）》2019年第2期258-261,共4页闫洪泽 吴明忠 
黑龙江省大学生创新创业专项资金(201710222026)
为了提高DLC膜与P20塑料模具钢基体间的结合强度,采用高功率大电流脉冲电源,实现P20钢氮化及氮化/DLC连续双重处理。采用SEM、XRD和显微硬度仪对其表面结构、相组成及显微硬度进行测试分析,结果表明:氮化处理增大试样表面粗糙度,氮化层...
关键词：等离子氮化 类金刚石膜 结合力 摩擦磨损性能 
不锈钢316L氮化/(Cr,Ti)N涂层原位复合制备被引量：1
《表面技术》2019年第3期91-97,共7页杨永杰 吴法宇 滕越 赵志伟 延睿桐 周艳文 解志文 郭媛媛 
国家自然科学基金(51502126;51672109;51771087);辽宁省自然科学基金(20180550802);辽宁科技大学省级重点实验室中心开放课题(USTLKFSY201705);辽宁科技大学青年基金(2018QN12);辽宁科技大学大学生创新创业项目(201710146000190;201810146148)~~
目的研究不同复合涂层的结构及其对力学性能的影响。方法采用等离子体增强磁控溅射系统在奥氏体不锈钢表面分别进行等离子体氮化、(Cr,Ti)N涂层、氮化+(Cr,Ti)N涂层、氮化+Cr+(Cr,Ti)N涂层四种复合表面强化处理。采用XRD、SEM、纳米压...
关键词：等离子体氮化 (Cr Ti)涂层 原位制备 奥氏体不锈钢 显微结构 力学性能 
磁控溅射制备AlCrWTaTiNb高熵合金薄膜低温等离子体氮化被引量：6
《大连理工大学学报》2019年第1期28-34,共7页马铭 任瑛 侯晓多 陈国清 张贵锋 
国家国际科技合作专项(2015DFR60370);航空科学基金资助项目(20153663010)
采用磁控溅射技术沉积了AlCrWTaTiNb多元高熵合金薄膜,在400℃以下采用高密度等离子体设备对沉积的薄膜进行了氮化处理.用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜和纳米压痕对氮化后薄膜的微观结构、表面形貌以及力学性能进行了分析.结果表明,高...
关键词：多元高熵合金薄膜 低温渗氮 力学性能 
基于原位等离子体氮化及低压化学气相沉积-Si_3N_4栅介质的高性能AlGaN/GaN MIS-HEMTs器件的研究被引量：6
《物理学报》2017年第19期253-259,共7页李淑萍 张志利 付凯 于国浩 蔡勇 张宝顺 
江苏省重点研发计划(批准号:BE2013002-2);国家重点研发计划(批准号:2016YFC0801203);国家重点研发计划重大科学仪器设备开发专项(批准号:2013YQ470767)资助的课题;江苏省重点研究与发展计划(批准号:BE2016084);国家自然科学基金青年科学基金(批准号:11404372)~~
通过对低压化学气相沉积(LPCVD)系统进行改造,实现在沉积Si_3N_4薄膜前的原位等离子体氮化处理,氮等离子体可以有效地降低器件界面处的氧含量和悬挂键,从而获得了较低的LPCVD-Si_3N_4/GaN界面态,通过这种技术制作的MIS-HEMTs器件,在扫...
关键词：氮化镓高电子迁移率晶体管 低压化学气相沉积 原位氮化 
医用锻造CoCrMo合金等离子氮化微观结构及摩擦性能（英文）被引量：3
《稀有金属材料与工程》2017年第1期51-56,共6页徐林 巴德纯 王庆 蔺增 
Scientific Research Foundation for the Returned Overseas Chinese Scholars,State Education Ministry(2014475)
采用高压直流等离子体氮化技术,对医用锻造钴铬钼合金进行表面氮化处理,考察了氮化温度及时间对钴铬钼合金摩擦性能及润湿性能的影响。运用X射线衍射仪及场发射扫描电镜分析氮化层物相组成及表面微观结构;用显微硬度计和光学动/静态接...
关键词：医用锻造钴铬钼合金 高压直流等离子体氮化 显微硬度 润湿性 摩擦性能 
医用锻造CoCrMo合金高压直流等离子氮化性能研究被引量：1
《真空科学与技术学报》2015年第3期311-315,共5页徐林 巴德纯 王庆 
沈阳市科技攻关计划项目(No.F12028200)
采用高压直流等离子体氮化技术，对医用锻造钴铬钼合金进行表面氮化处理，考察了氮化温度对钴铬钼合金摩擦性能及润湿性能的影响。运用x射线衍射仪分析氮化层物相组成，显微硬度计和光学动／静态接触角仪测试合金表面显微硬度及接触角...
关键词：医用锻造钴铬钼合金 高压直流等离子体氮化 显微硬度 润湿性 摩擦性能 
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