《等离子体应用技术快报》

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《等离子体应用技术快报》
主办单位：核工业西南物理研究院
最新期次：2000年12期更多>>
发文主题：等离子体等离子体源离子植入表面改性离子束更多>>
发文领域：理学电子电信金属学及工艺一般工业技术更多>>
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利用甲烷—硅烷高能离子束的非晶SixC1—x薄膜的生长
《等离子体应用技术快报》2000年第12期17-19,共3页马兵 
关键词：硅晶片 非晶碳薄膜 离子束沉积 甲烷-硅烷高能离子束 非晶SixC1-x薄膜 生长 
GaN蚀刻期间电感耦合Cl2／BCl3等离子体的特性
《等离子体应用技术快报》2000年第12期19-21,共3页白雪 
关键词：氮化镓 含氯气体 激光二极管 GAN 蚀刻 电感耦合 Cl2/BCl3 等离子体 特性 
离子轰击对反应性溅射合成氮化硼薄膜的影响
《等离子体应用技术快报》2000年第12期21-23,共3页马兵 
关键词：离子轰击 反应性溅射合成 氮化硼薄膜 影响 
与氩等离子体相互作用产生的锌离化
《等离子体应用技术快报》2000年第12期23-23,共1页
关键词：离化系数 氩等离子体 相互作用 锌离化 
用连续喷墨打印机等离子体喷涂超微细陶瓷悬浮物
《等离子体应用技术快报》2000年第12期23-24,共2页
关键词：陶瓷涂层 连续喷墨打印机 等离子体喷涂 超微细陶瓷悬浮物 
用磁控管溅射技术控制氧化铟锡薄膜的特性
《等离子体应用技术快报》2000年第12期24-24,共1页
关键词：磁控管溅射技术 控制 氧化铟锡薄膜 特性 
用平衡和非平衡磁控管溅射制备的装饰性硬涂层
《等离子体应用技术快报》2000年第12期1-4,共4页卫冰 
关键词：平衡磁控管 非平衡磁控管 磁控溅射 制备 装饰性硬涂层 
钢管内表面的PSⅡ离子植入
《等离子体应用技术快报》2000年第12期4-5,共2页李兵 
关键词：等离子体源 DLC薄膜 钢管 内表面 PSⅡ 离子植入 
尘埃等离子体中库仑晶体的二维熔化
《等离子体应用技术快报》2000年第12期6-6,共1页拾灵 
关键词：半导体器件 等离子体加工 带电粒子 尘埃 等离子体 库仑晶体 二维熔化 
利用可控等离子体势辉光放电源进行PⅢ
《等离子体应用技术快报》2000年第12期7-8,共2页蓉佳 
关键词：等离子体源 离子植入 等离子体加工 蚀刻 等离子体势 辉光放电源 PⅢ 清洗 
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