等离子体枪

作品数：23被引量：26H指数：3
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大气等离子体枪制备类金刚石薄膜被引量：1
《包装工程》2006年第5期31-33,共3页汤文杰 张跃飞 陈强 葛袁静 
大气下,采用DBD等离子体枪为等离子体聚合装置,以甲烷为单体,氩气为工作气体,在载玻片和单晶硅片上沉积类金刚石薄膜(DLC)。考察了基片预处理、内电极形状、进气方式、以及等离子体炬喷口和基材的距离对DLC薄膜沉积的影响。通过傅立叶...
关键词：大气压DBD DLC薄膜 性能 
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