等离子体预处理

作品数：54被引量：146H指数：6
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NH_(3)和N_(2)混合等离子体预处理对锗MOS器件性能的影响
《材料导报》2021年第14期14012-14016,共5页乌李瑛 柏荣旭 瞿敏妮 付学成 田苗 马玲 王英 程秀兰 
国家科技部“十三五”高性能计算重点研发计划项目子课题(2016YFB0200205);2018年度上海研发公共服务平台建设项目(18DZ2295400);上海交通大学决策咨询课题(JCZXSJB2019-005,JCZXSJB2018-022)。
对锗衬底进行NH 3和N 2混合等离子体(V(NH_(3))∶V(N_(2))=5∶1)原位预处理,其自然氧化层GeO_(x)反应生成GeO_(y)N_(z)。XPS结果显示,随着预处理时间的延长,GeO_(y)N_(z)厚度稍有增加。结构为500 nm Al/20 nm Ti/10 nm HfO_(2)/Ge的锗MO...
关键词：锗MOS 原子层沉积 原位等离子体预处理 二氧化铪薄膜 高介电常数 漏电流密度 
利用等离子体预处理增强涤纶织物电子束辐照亲水改性的效果被引量：18
《材料导报》2018年第4期626-630,649,共6页李宏英 傅佳佳 王鸿博 陈太球 蒋春燕 
国家重点研发计划高品质热湿舒适性纺织品制备关键技术(2017YFB0309100);江苏省产学研前瞻性研究项目(BY2016022-23);中央高校基本科研业务费专项资金(JUSRP51622A);江苏省先进纺织工程技术中心立项课题(XJFZ/2015/1);国家自然科学基金(31470509)~~
利用电子束辐照接枝亲水性单体可提高涤纶织物的亲水性,但涤纶大分子本身结构规整且结晶度较高,造成改性时接枝率偏低,引入预处理可以提高改性效果。先通过正交试验得到等离子体预处理的最佳方案,再分别对涤纶织物原样、无预处理接枝改...
关键词：涤纶织物 等离子体预处理 电子束辐照 亲水性 
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