整流接触

作品数:6被引量:4H指数:1
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PtSi/Si整流接触的研究被引量:1
《半导体杂志》1995年第3期16-18,共3页李国正 
本文对影响PtSi/Si整流特性的接触进行了详细研究,并试制成功PtSi/P-Si和PtSi/n-Si两种用途不同的肖特基势垒二极管。
关键词:SBD 硅化铂  制作 整流接触 
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