整平剂

作品数：52被引量：65H指数：4
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研究UV-LIGA微电铸电极过程的交流阻抗法被引量：2
《光学精密工程》2007年第7期1049-1055,共7页邵力耕 杜立群 王立鼎 
国家自然科学基金资助项目(No.50675025);教育部和大连市留学回国人员科研启动基金资助项目
在给定的电铸液组分和工艺路线下,运用交流阻抗法研究了微电铸镍结构的电极过程动力学特性。建立了微电铸体系的等效电路,根据实验获得的交流阻抗图和电阻电抗频率响应,分析了搅拌、整平剂对微电铸体系交流阻抗的影响,计算了电极过程的...
关键词：微电铸 交流阻抗法 整平剂 交换电流密度 
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