正弦相位调制

作品数：38被引量：138H指数：7
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正弦相位调制菲索干涉仪
《国外计量》1990年第5期 8-10,共3页Sasak.,O 李熙 
<正> 一、前言菲索干涉仪对于光学系统中发生的摆振问题是不敏感的,而且它可方便地用于大直径物体表面轮廓的测量。这两个优点对于高达1nm量级的高准确度表面轮廓的测量特别重要。如果我们用一台泰曼-格林干涉仪测量一大直径物体,如直径...
关键词：菲索干涉仪 正弦相位调制 干涉仪 
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