云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 低K材料

低K材料: 作品数：21被引量：32H指数：4; 导出分析报告; 相关领域：电子电信更多>>; 相关作者：刘玉岭高宝红何彦刚张卫王立冉更多>>; 相关机构：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司河北工业大学长鑫存储技术有限公司复旦大学更多>>; 相关期刊：《半导体技术》《电子测试》《现代电子技术》《电子元器件应用》更多>>; 相关基金：国家中长期科技发展规划重大专项国家自然科学基金教育部“春晖计划”青海省自然科学基金更多>>