低电阻

作品数:231被引量:382H指数:9
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低电阻p-DBR结构的模拟分析被引量:2
《半导体技术》2005年第6期56-59,共4页马丽娜 郭霞 盖红星 渠红伟 董立闽 邓军 廉鹏 沈光地 
国家自然科学基金资助项目(60276033;69889601);国家"863"高技术计划资助项目(2002AA312070);国家"973"计划资助项目(G20000683-02);北京市自然科学基金资助项目(4021001)
设计了低电阻的渐变型分布布拉格反射器(DBR)结构,模拟分析了采用渐变p-DBR结构对价带能带的影响,并详细讨论了渐变形状、渐变区宽度、掺杂浓度等参数对低电阻渐变DBR结构的价带势垒的影响。利用MOCVD技术制备了实验样品,模拟结果与实...
关键词:渐变布拉格反射器 渐变形状 价带势垒 
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