马丽娜

作品数：4被引量：5H指数：2
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供职机构：北京工业大学电子信息与控制工程学院北京市光电子技术实验室更多>>
发文主题：ICP刻蚀氮化物分布布拉格反射镜刻蚀技术湿法腐蚀更多>>
发文领域：电子电信更多>>
发文期刊：《半导体技术》《传感器世界》《固体电子学研究与进展》《半导体光电》更多>>
所获基金：国家重点基础研究发展计划北京市自然科学基金国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
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Ⅲ族氮化物刻蚀技术的研究进展被引量：2
《半导体光电》2005年第4期274-279,共6页马丽娜 郭霞 沈光地 
国家"973"计划项目(20000683002);北京市科委重点项目(D0404003040221)
随着Ⅲ族氮化物半导体材料研究的发展,Ⅲ族氮化物的图形刻蚀技术也得到了广泛研究。对Ⅲ族氮化物的各种刻蚀技术进行了详细总结和对比,包括湿法腐蚀、RIE刻蚀I、CP刻蚀等,并对目前Ⅲ族氮化物刻蚀技术的研究热点进行了较为深刻的分析。
关键词：Ⅲ族氮化物 湿法腐蚀 ICP刻蚀 
低电阻p-DBR结构的模拟分析被引量：2
《半导体技术》2005年第6期56-59,共4页马丽娜 郭霞 盖红星 渠红伟 董立闽 邓军 廉鹏 沈光地 
国家自然科学基金资助项目(60276033;69889601);国家"863"高技术计划资助项目(2002AA312070);国家"973"计划资助项目(G20000683-02);北京市自然科学基金资助项目(4021001)
设计了低电阻的渐变型分布布拉格反射器(DBR)结构,模拟分析了采用渐变p-DBR结构对价带能带的影响,并详细讨论了渐变形状、渐变区宽度、掺杂浓度等参数对低电阻渐变DBR结构的价带势垒的影响。利用MOCVD技术制备了实验样品,模拟结果与实...
关键词：渐变布拉格反射器 渐变形状 价带势垒 
渐变分布布拉格反射镜特性分析与测试被引量：1
《传感器世界》2005年第6期15-18,共4页马丽娜 郭霞 盖红星 渠红伟 董立闽 邓军 廉鹏 
国家自然科学基金资助项目(批准号:60276033和69889601);国家"863"计划资助项目(批准号:2002AA312070);国家"973"计划资助项目(批准号:G20000683-02);北京市自然科学基金资助项目(批准号:4021001)
垂直腔面发射激光器(VCSELs)是一种新型半导体激光器,可以广泛应用于光通信和光互连。本文模拟分析了垂直腔面发射激光器中的分布布拉格反射镜(DBRs)对价带势垒的影响,并对几种不同结构的反射镜的电阻进行了测试,测试结果表明采用抛物...
关键词：分布布拉格反射镜 价带势垒 渐变结构 
新型大功率双波长半导体激光器的研制
《固体电子学研究与进展》2005年第1期129-132,共4页郭伟玲 田咏桃 李建军 马丽娜 鲁鹏程 王婷 邹德恕 沈光地 
国家 973计划 (No.2 0 0 0 0 683 -0 2 ) ;北京市科委项目 (KP0 2 0 42 0 0 2 0 1) ;北京市教委项目 (2 0 0 2 KJ0 18)
提出了一种新结构半导体双波长激光器 ,即用隧道结把两个发射不同波长的激光器结构通过外延生长的方法连接起来。通过计算和设计 ,制备了性能良好的大功率激射的双波长半导体激光器。双波长器件的实际激射波长分别为 95 1 nm和 987nm,...
关键词：大功率 半导体激光器 双波长 隧道结 
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