直线驱动器

作品数:74被引量:185H指数:8
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新型精密直线驱动器及其控制器的研究被引量:1
《计算技术与自动化》2000年第1期19-21,30,共4页程良伦 杨宜民 
国家自然科学基金
介绍一种采用“带压电元件 ,圆弧缺口杠杆和双平行四边形弹簧的多级放大的一体化结构”的新型精密直线驱动器及其控制器的研究。实验表明 :该新型精密直线驱动器的最大行程为 4 3 0 μm,最大输出力为 50 N,可控精度小于 0 .5μm,频带宽...
关键词:直线驱动器 压电元件 控制器 微动机电系统 
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