制备化学

作品数：33被引量：137H指数：7
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相关机构：中国科学院上海大学罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司北京化工大学更多>>
相关期刊：《化学进展》《天津造纸》《石油化工》《南京大学学报（自然科学版）》更多>>
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半开放气体循环方式制备化学气相沉积金刚石膜被引量：2
《金刚石与磨料磨具工程》2008年第2期46-48,52,共4页刘秀军 孙振路 何奇宇 吴晓波 胡红彦 高亮 
直流电弧等离子喷射化学气相沉积金刚石膜是一种先进的人工合成技术，其成膜面积大，均匀性好，质量高，沉积速率快，产业化前景非常广阔。但在其生产过程中，所需要的气体消耗量很大，生产成本较高，在相当程度上制约了生产规模的进一...
关键词：直流电弧等离子喷射法 化学气相沉积 气体循环 生产成本 气体消耗量 
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