低温合金

作品数：17被引量：9H指数：2
导出分析报告
相关领域：金属学及工艺电子电信更多>>
相关作者：丁玉梅杨卫民莫伟伟刘文李继强更多>>
相关机构：天津百瑞杰焊接材料有限公司浙江大学宁波思明汽车科技股份有限公司北京化工大学更多>>
相关期刊：《热电技术》《机电信息》《半导体技术》《金属加工（冷加工）》更多>>
相关基金：国家自然科学基金陕西省教育厅自然科学基金江苏省自然科学基金江苏省科技支撑计划项目更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
选择条件：
  • 期刊=光学与光电技术x
共 条 记 录，以下是1-1
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
GaN基低温无金欧姆接触电极制备及应用被引量：1
《光学与光电技术》2018年第6期71-77,共7页李祈昕 周泉斌 刘晓艺 王洪 
广东省应用型科技研发专项资金重大项目(2015B010127013;2016B010123004;2017B010112003);广州市产学研协同创新重大专项(201504291502518;201604046021);中山市科技发展专项(2017F2FC0002;2017A1007)资助项目
制备了一种与Si-CMOS工艺线兼容的AlGaN/GaN HEMTs低温无金欧姆接触电极,分析了欧姆前刻槽深度和退火合金条件对Si基AlGaN/GaN异质结无金欧姆接触特性的影响。系统研究了具有不同欧姆前刻槽深度、不同退火条件的AlGaN/GaN异质结的Ti/Al/...
关键词：氮化镓基高电子迁移率晶体管 无金欧姆接触 低温合金 欧姆前刻槽 退火工艺 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部