色散率

作品数：27被引量：22H指数：3
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电子束蒸发工艺对MgF2薄膜光学性能的调制与分析被引量：2
《固体电子学研究与进展》2020年第5期366-371,共6页宋冠宇 涂洁磊 孙晓宇 徐晓壮 颜平远 邓臣 李亚楠 
国家自然科学基金资助项目(61664010)。
电子束蒸发技术中,电子束流和衬底温度将显著影响薄膜生长过程及其性能。研究了核心工艺参数电子束流和衬底温度对MgF2薄膜光学性能的影响与规律,结果显示提高电子束流和衬底温度均可导致其折射率和色散率的增大、反射率的降低。改变上...
关键词：MgF2薄膜 电子束流 衬底温度 折射率 色散率 反射率 
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