云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 射频源

射频源: 作品数：62被引量：67H指数：4; 导出分析报告; 相关领域：电子电信理学更多>>; 相关作者：梁应敞杨刚王号张倩倩卢继华更多>>; 相关机构：北京北方华创微电子装备有限公司电子科技大学中国科学院中国科学技术大学更多>>; 相关期刊：更多>>; 相关基金：国家自然科学基金国家质检总局科技计划项目山东省自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>

检索结果分析

选择条件：

共条记录，以下是1-1

全选清除导出

视图：

排序：

条形射频源大口径离子束刻蚀机性能(英文)被引量：2: 《中国科学技术大学学报》2007年第4期530-535,共6页董晓浩刘颖赵飞云徐德权徐向东周银贵汪啸姚传荣洪义麟付绍军徐朝银; National High Technology Research and Development Program of China("863"Program)(2005AA849020); 针对大尺寸基底往复扫描条形离子束来实现大面积刻蚀的特点,实验测试了基于射频感应耦合等离子体离子源大型离子束刻蚀机的性能.利用法拉第筒扫描探测系统在线测量束流密度,通过控制气体流量、调节加速电压等,得到了纵向束流密度±5.3%...; 关键词：离子束刻蚀机条形射频离子源束流密度均匀性束阑大口径衍射光学元件