离子束刻蚀机

作品数：5被引量：6H指数：2
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离子束刻蚀机电控系统设计被引量：2
《科技创新与应用》2019年第13期95-96,共2页许钊 薛鹏 
运动控制系统是实现离子束刻蚀机控制算法和轨迹拟合算法的硬件基础,因此需要在传动运动控制系统上,进行进一步的研究,以满足离子束刻蚀机刻蚀闪耀曲面光栅的要求,文章按照离子束刻蚀机运动控制系统的功能要求设计了工作平台的电控系统...
关键词：步进电机 硬件设计 运动控制 
离子束刻蚀机的电源系统
《真空》2011年第2期56-59,共4页陈元棣 谈治信 
离子束刻蚀机的性能,除主机外,在很大程度上取决于供电电源系统。为了提高离子束刻蚀机整机工作的稳定性,在以往的配套电源的基础上,研制了一套电源系统,用于离子束刻蚀机中。整机工作稳定度达±0.8%/h,每次连续刻蚀器件8h以上,连续运转...
关键词：离子束刻蚀 离子源 真空系统 稳流电源 稳定度 
条形射频源大口径离子束刻蚀机性能(英文)被引量：2
《中国科学技术大学学报》2007年第4期530-535,共6页董晓浩 刘颖 赵飞云 徐德权 徐向东 周银贵 汪啸 姚传荣 洪义麟 付绍军 徐朝银 
National High Technology Research and Development Program of China("863"Program)(2005AA849020)
针对大尺寸基底往复扫描条形离子束来实现大面积刻蚀的特点,实验测试了基于射频感应耦合等离子体离子源大型离子束刻蚀机的性能.利用法拉第筒扫描探测系统在线测量束流密度,通过控制气体流量、调节加速电压等,得到了纵向束流密度±5.3%...
关键词：离子束刻蚀机 条形射频离子源 束流密度均匀性 束阑 大口径衍射光学元件 
离子束刻蚀机工作台的改造
《真空》2000年第5期39-40,共2页周洪军 洪义麟 徐向东 陶晓明 霍同林 付绍军 
合肥国家同步辐射实验室光学元件组现承担 863 -4 16-2子项目“用于激光驱动靶面均匀照明位相片的制造”。在位相片的制造过程中所遇到的关键问题之一是如何使基片上的掩模板中心和基片中心精确对准 ,要求对准台套准误差小于 10μm,重...
关键词：离子速刻蚀 掩模工作台 真空度 光学元件 制造 
LSK—3型离子束刻蚀机的结构设计被引量：2
《真空与低温》1993年第3期139-146,共8页谈治信 惠金河 
LSK—3型离子束刻蚀机是用于刻蚀动压气体轴承螺旋槽为主的超精细加工专用设备。自1985年研制成功后,该机经过上百次长期使用运转,成功地刻蚀了台阶轴套.半球轴套、上推板螺旋轮等器件,每次开机连续工作10h,连续刻蚀时间8h 以上。实践证...
关键词：离子束 刻蚀 真空 刻蚀机 
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