陶晓明

作品数：26被引量：70H指数：4
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供职机构：中国科学技术大学更多>>
发文主题：离子束刻蚀软X射线光刻掩模全息光刻光刻胶更多>>
发文领域：机械工程电子电信理学核科学技术更多>>
发文期刊：《微细加工技术》《仪器仪表学报》《光子学报》《物理学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金中国工程物理研究院科学技术发展基金更多>>
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同步辐射Laminar光栅的研制被引量：5
《光学技术》2001年第5期459-461,468,共4页徐向东 洪义麟 霍同林 周洪军 陶晓明 傅绍军 
采用全息离子束刻蚀和反应离子刻蚀相结合的新工艺 ,在熔石英基片上成功地刻蚀出 2 0 0l/mm、线空比 4:6、槽深 70nm、刻划面积 60× 2 0mm2 的浅槽矩形Laminar光栅。对改进光栅线条粗糙度和线空比的方法进行了系统的研究。这一新工艺...
关键词：Laminar光栅 全息光刻 离子束刻蚀 反应离子刻蚀 同步辐射 
软X射线透射光栅制作技术被引量：13
《光学技术》2001年第4期294-296,共3页徐向东 洪义麟 霍同林 朱向冰 周红军 陶晓明 傅绍军 
金透射光栅广泛用于真空紫外、X射线、物质波的衍射和光谱测量。分别介绍了美国麻省理工学院空间微结构实验室和中国科学技术大学国家同步辐射实验室的透射光栅制作技术及其新进展。麻省理工学院空间微结构实验室为完成 AXAF巨型空间天...
关键词：透射光栅 X射线光刻 全息光刻 光刻胶 
场致发射阵列制作工艺的研究被引量：1
《微细加工技术》2001年第3期14-17,共4页周洪军 尉伟 洪义麟 徐向东 陶晓明 霍同林 付绍军 裴元吉 
研究了干法反应刻蚀和湿法强碱化学腐蚀方法对场致发射阵列顶部的锐化问题以及不同工作气体的干法反应刻蚀和湿法化学腐蚀对场致发射阵列Si尖顶部的SiO2 绝缘层的去除方法 ,并对这两种方法进行了比较 ,给出了各自的优缺点。
关键词：场致发射阵列 制作工艺 反应离子刻蚀 化学腐蚀 半导体工艺 
软X射线透射光栅支撑结构的制作工艺研究被引量：2
《微细加工技术》2001年第3期22-25,共4页徐向东 洪义麟 田扬超 霍同林 周洪军 陶晓明 傅绍军 
在简述软X射线自支撑透射光栅制作工艺的基础上 ,重点研究支撑结构制作中的紫外光刻和电镀两步工艺。紫外光刻中的菲涅耳衍射会造成光刻胶不能显影到底或起保护作用的光刻胶面积减小、厚度减薄 ;比较了两个不同电镀条件下的电镀实验结...
关键词：全息光刻 透射光栅 软X射线 微电镀 制作工艺 
声表面波压电免疫检测系统的设计
《声学技术》2001年第2期63-67,共5页叶为全 周康源 王君 陈昕 刘胜 付绍军 陶晓明 霍同林 洪义麟 徐向东 周红军 鲍继鹏 
文章报导了一种声表面波压电免疫检测系统 ,它是利用压电元件的质量敏感性质 ,结合生物免疫识别特性而形成的一种自动化分析传感器检测系统 ,可对多种抗原或抗体进行实时、快速的定量测定 ,并可用于反应动力学的研究。具有高特异性、高...
关键词：叉指换能器 抗体 抗原 免疫 声表面波 压电免疫传感器 定量测定 反应动力学 压电元件 
氮化硅窗口在大气环境软X射线接触成像中的应用研究
《真空科学与技术》2001年第1期47-50,共4页徐向东 洪义麟 霍同林 陶晓明 蒋诗平 傅绍军 
成功地研制了将软X射线引入大气中的氮化硅窗口。根据具体数据 ,对大气环境下软X射线接触成像的水窗软X射线衰减进行了估算 ;给出成像实验结果并观察到了氮化硅膜上的微粒图像叠加在样品图像上的现象。所得结果与理论估算相一致。即使用...
关键词：软X射线 线性吸收系数 接触成像 氮化硅窗口 显微成像 显微术 
合肥国家同步辐射光源软X射线束空间相干性实验研究
《光子学报》2000年第12期1087-1089,共3页徐向东 洪义麟 霍同林 周洪军 陶晓明 傅绍军 
国家同步辐射实验室资助项目!( 960 2 2 )
本文从实验角度对合肥国家同步辐射实验室软 X射线束的空间相干性进行了研究 .利用放置在物面上的高分辨正性光刻胶 ,记录了中心波长为 3.2 nm的波带片和针孔直径为30 μm组合的光场分布 (光斑 ) ,获得相应条件下的爱里斑及空间相干直...
关键词：软X射线 空间相干性 干涉 同步辐射光源 
离子束刻蚀机工作台的改造
《真空》2000年第5期39-40,共2页周洪军 洪义麟 徐向东 陶晓明 霍同林 付绍军 
合肥国家同步辐射实验室光学元件组现承担 863 -4 16-2子项目“用于激光驱动靶面均匀照明位相片的制造”。在位相片的制造过程中所遇到的关键问题之一是如何使基片上的掩模板中心和基片中心精确对准 ,要求对准台套准误差小于 10μm,重...
关键词：离子速刻蚀 掩模工作台 真空度 光学元件 制造 
光刻胶灰化技术用于同步辐射闪耀光栅制作被引量：5
《微细加工技术》2000年第3期35-38,共4页徐向东 周洪军 洪义麟 霍同林 陶晓明 傅绍军 
211重点学科建设资助项目
在分析光刻胶光栅浮雕图形缺陷成因的基础上 ,首次将光刻胶灰化工艺引入到全息 离子束刻蚀制作闪耀光栅工艺中 ,并成功地为国家同步辐射实验室光化学站制作了 1 2 0 0 1 /mm ,闪耀波长为 1 30nm的锯齿槽形光栅。测试结果表明光刻胶灰化...
关键词：全息光刻 离子束刻蚀 光刻胶灰化工艺 
微型石英晶体生物传感器的研究被引量：11
《传感器技术》2000年第4期7-10,共4页叶为全 周康源 王君 陈昕 刘胜 付绍军 陶晓明 霍同林 洪义麟 徐向东 周红军 
介绍了一种压电免疫传感器 ,它是利用压电元件的质量敏感性质 ,结合生物免疫识别特性而形成的一种自动化分析检测传感器 ,可对多种抗原或抗体进行实时、快速地定量测定 ,并可用于反应动力学的研究。具有高特异性、高灵敏度、响应快和小...
关键词：石英晶体 生物传感器 免疫 压电元件 
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